真空除尘系统

静电 控制程序

设计精湛的真空除尘系统,必须具备有效的静电控制程序。 静电控制程序在现代除尘系统中是不可或缺的组合部分,不是只作为考虑的选项。

科技日益精密 几何尺寸不断缩小

尺寸每缩小一次,静电的影响力度最会加大。不久前,有的晶片可承受 1500 伏的电压,依然平安无事,但是今天,根据SEMI(国际半导体设备与材料协会)E78的标准,半导体行业必须设法把静电荷维持在100伏以下;建议或可达到 25伏。

就以一个人为例,他走过地毯再触摸门把,身体就会带上平均4000伏的高静电。

静电电荷事件发生是快速的,在一个静电场内,潜在不同静电的两件物体会同时传送静电电荷,于是电流产生无线电波干扰仪器的运作,造成微处理机锁定、毁损记忆体,或改动分析程序中的数据。因此,设备锁定、判断错误,软件或硬件发生问题,通常是由静电引起的。电磁干扰源自静电放电(ESD),由发生点辐射和传导出去,很难察觉,它可导致设备的性能和全线产品的质量降低。

静电放电虽小以致无人察觉,但它却足以熔断金属线或硅、击穿氧化层或导致其他方面受到破坏。静电放电事件会破坏生产工具,造成产品规格不一,例如“印刷”晶片图案的光掩模制品功能遭到破坏。在晶圆生产设施,静电放电事件会引起潜伏性的故障,虽不至于马上影响功能或带来毁灭性的结果,但却能够造成伤害。例如,生产过程一直平安无事,制品顺利完成并通过品管,可是在六个月后,在客户那里却出状况。一旦发生这样的事,公司损失不但惨重,而且会失去客户的信任。

火患及爆炸危险

物料的粉末通过斜槽或者气动输送系统;蒸汽、空气或气体从导管或软管的任何一个开口流出;蒸汽潮湿、流动空气或气流含有颗粒物质,都是常见的静电发生源。

根据美国消防协会观察所得,增湿并非所有静电问题的对策,例如,一些塑料能够积累静电电荷,尽管周围的环境湿度相对达到 100%。

静电问题如果处理不当,往往成为易燃混合物的引火源,就如高速灰尘输送的情况。

恼人问题及维修保养费

带有静电就会在静电场范围内吸引尘埃颗粒,因此移除捕集灰尘的导管或输送管内壁,就需要经常清理和保养。那些含毒性或可能带有病原体的尘埃颗粒(尤其是在生命科学研究室或设施内的系统),情况更是如此,问题如果迟迟不处理将是不明智的。