设计精湛的真空除尘系统,必须具备有效的静电控制程序。 静电控制程序在现代除尘系统中是不可或缺的组合部分,不是只作为考虑的选项。
科技日益精密 几何尺寸不断缩小
尺寸每缩小一次,静电的影响力度最会加大。不久前,有的晶片可承受 1500 伏的电压,依然平安无事,但是今天,根据SEMI(国际半导体设备与材料协会)E78的标准,半导体行业必须设法把静电荷维持在100伏以下;建议或可达到 25伏。
就以一个人为例,他走过地毯再触摸门把,身体就会带上平均4000伏的高静电。
静电电荷事件发生是快速的,在一个静电场内,潜在不同静电的两件物体会同时传送静电电荷,于是电流产生无线电波干扰仪器的运作,造成微处理机锁定、毁损记忆体,或改动分析程序中的数据。因此,设备锁定、判断错误,软件或硬件发生问题,通常是由静电引起的。电磁干扰源自静电放电(ESD),由发生点辐射和传导出去,很难察觉,它可导致设备的性能和全线产品的质量降低。
静电放电虽小以致无人察觉,但它却足以熔断金属线或硅、击穿氧化层或导致其他方面受到破坏。静电放电事件会破坏生产工具,造成产品规格不一,例如“印刷”晶片图案的光掩模制品功能遭到破坏。在晶圆生产设施,静电放电事件会引起潜伏性的故障,虽不至于马上影响功能或带来毁灭性的结果,但却能够造成伤害。例如,生产过程一直平安无事,制品顺利完成并通过品管,可是在六个月后,在客户那里却出状况。一旦发生这样的事,公司损失不但惨重,而且会失去客户的信任。