真空泵

无油真空泵

液环真空泵的构造和设计简单,在任务临界应用上可说是最可靠的一种装置。因此,晶圆铸造厂、储存媒介设施、生命科学研究中心,都广泛使用这种真空泵。

也许是因为它广受欢迎,国际组织如:EEMUA:151;API 681 针对其使用开发了一套促进良好应用程序的特定严格技术标准。